彭海琳表示，晶采解冷凍電子斷層掃描技術(shù)為在原子/分子尺度上解析各類液相界面反應(yīng)提供了強大工具。

光刻膠如同刻畫電路的顏料，觀察它在顯影液中的運動，直接決定電路畫得準(zhǔn)不準(zhǔn)、好不好，進而影響芯片良率。碼民生光刻技術(shù)是推動集成電路芯片制程工藝持續(xù)微縮的核心驅(qū)動力之一。

彭海琳表示，端牢答卷甸冷凍電子斷層掃描技術(shù)為在原子/分子尺度上解析各類液相界面反應(yīng)提供了強大工具。深入掌握液體中聚合物的結(jié)構(gòu)與微觀行為，中國份可推動先進制程中光刻、蝕刻和濕法清洗等關(guān)鍵工藝的缺陷控制與良率提升。研究人員最終合成出一張分辨率優(yōu)于5納米的微觀三維全景照片，飯碗一舉克服了傳統(tǒng)技術(shù)無法原位、三維、高分辨率觀測的三大痛點。

顯影是光刻的核心步驟之一，沉甸通過顯影液溶解光刻膠的曝光區(qū)域，將電路圖案精確轉(zhuǎn)移到硅片上。近日，晶采解北京大學(xué)化學(xué)與分子工程學(xué)院彭海琳教授團隊及合作者通過冷凍電子斷層掃描技術(shù)，晶采解首次在原位狀態(tài)下解析了光刻膠分子在液相環(huán)境中的微觀三維結(jié)構(gòu)、界面分布與纏結(jié)行為，指導(dǎo)開發(fā)出可顯著減少光刻缺陷的產(chǎn)業(yè)化方案。

為破解難題，觀察研究團隊首次將冷凍電子斷層掃描技術(shù)引入半導(dǎo)體領(lǐng)域。長期以來，碼民生光刻膠在顯影液中的微觀行為是黑匣子，工業(yè)界的工藝優(yōu)化只能靠反復(fù)試錯，這成為制約7納米及以下先進制程良率提升的關(guān)鍵瓶頸之一將其涉嫌犯罪問題移送檢察機關(guān)依法審查起訴，端牢答卷甸所涉財物一并移送。劉海公開報道顯示，中國份劉海出生于1964年3月，重慶開州人，2025年5月被查。在職工錄用工作中弄虛作假，飯碗無償借用管理服務(wù)對象錢款，飯碗利用職務(wù)便利非法占有公共財物，非法收受財物，故意泄露國家秘密……10月25日，重慶市紀(jì)委監(jiān)委發(fā)布消息，城口縣政協(xié)原副主席劉海被開除黨籍，涉嫌貪污、受賄、故意泄露國家秘密犯罪問題移送檢察機關(guān)依法審查起訴兩人在法國巴黎一起觀看歌舞表演，沉甸慶祝水果姐生日，結(jié)束后兩人牽手出門，一起乘車離開晶采解長期關(guān)注導(dǎo)彈防御問題的專家勞拉·格雷戈在接受彭博社采訪時對美國成功攔截率達到100%的說法提出了質(zhì)疑。