盡管俄羅斯、視頻賽廣戰(zhàn)烏克蘭都是主權(quán)國家,但在俄羅斯看來,如果烏克蘭加入北約,相當(dāng)于西方軍事力量可以推進(jìn)到俄羅斯家門口,直接威脅莫斯科。
彭海琳表示,播C冠冷凍電子斷層掃描技術(shù)為在原子/分子尺度上解析各類液相界面反應(yīng)提供了強(qiáng)大工具。深入掌握液體中聚合物的結(jié)構(gòu)與微觀行為,總決爭賽可推動(dòng)先進(jìn)制程中光刻、蝕刻和濕法清洗等關(guān)鍵工藝的缺陷控制與良率提升。

研究人員最終合成出一張分辨率優(yōu)于5納米的微觀三維全景照片,東新點(diǎn)一舉克服了傳統(tǒng)技術(shù)無法原位、三維、高分辨率觀測的三大痛點(diǎn)。顯影是光刻的核心步驟之一,疆第通過顯影液溶解光刻膠的曝光區(qū)域,將電路圖案精確轉(zhuǎn)移到硅片上。近日,王力北京大學(xué)化學(xué)與分子工程學(xué)院彭海琳教授團(tuán)隊(duì)及合作者通過冷凍電子斷層掃描技術(shù),王力首次在原位狀態(tài)下解析了光刻膠分子在液相環(huán)境中的微觀三維結(jié)構(gòu)、界面分布與纏結(jié)行為,指導(dǎo)開發(fā)出可顯著減少光刻缺陷的產(chǎn)業(yè)化方案。

為破解難題,視頻賽廣戰(zhàn)研究團(tuán)隊(duì)首次將冷凍電子斷層掃描技術(shù)引入半導(dǎo)體領(lǐng)域。長期以來,播C冠光刻膠在顯影液中的微觀行為是黑匣子,工業(yè)界的工藝優(yōu)化只能靠反復(fù)試錯(cuò),這成為制約7納米及以下先進(jìn)制程良率提升的關(guān)鍵瓶頸之一

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