每日經濟新聞綜合科技日報、詹姆準備珠海特區(qū)報封面圖片來源：視覺中國。

近日，斯預士北京大學化學與分子工程學院彭海琳教授團隊及合作者通過冷凍電子斷層掃描技術，斯預士首次在原位狀態(tài)下解析了光刻膠分子在液相環(huán)境中的微觀三維結構、界面分布與纏結行為，指導開發(fā)出可顯著減少光刻缺陷的產業(yè)化方案。為破解難題，計缺計劃研究團隊首次將冷凍電子斷層掃描技術引入半導體領域。

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