彭海琳表示，海底冷凍電子斷層掃描技術(shù)為在原子/分子尺度上解析各類液相界面反應(yīng)提供了強(qiáng)大工具。

光刻膠如同刻畫電路的顏料，采火采集它在顯影液中的運(yùn)動(dòng)，直接決定電路畫得準(zhǔn)不準(zhǔn)、好不好，進(jìn)而影響芯片良率。過國人光刻技術(shù)是推動(dòng)集成電路芯片制程工藝持續(xù)微縮的核心驅(qū)動(dòng)力之一。

彭海琳表示，場著中致浪冷凍電子斷層掃描技術(shù)為在原子/分子尺度上解析各類液相界面反應(yīng)提供了強(qiáng)大工具。深入掌握液體中聚合物的結(jié)構(gòu)與微觀行為，源火可推動(dòng)先進(jìn)制程中光刻、蝕刻和濕法清洗等關(guān)鍵工藝的缺陷控制與良率提升。研究人員最終合成出一張分辨率優(yōu)于5納米的微觀三維全景照片，海底一舉克服了傳統(tǒng)技術(shù)無法原位、三維、高分辨率觀測的三大痛點(diǎn)。

顯影是光刻的核心步驟之一，采火采集通過顯影液溶解光刻膠的曝光區(qū)域，將電路圖案精確轉(zhuǎn)移到硅片上。近日，過國人北京大學(xué)化學(xué)與分子工程學(xué)院彭海琳教授團(tuán)隊(duì)及合作者通過冷凍電子斷層掃描技術(shù)，過國人首次在原位狀態(tài)下解析了光刻膠分子在液相環(huán)境中的微觀三維結(jié)構(gòu)、界面分布與纏結(jié)行為，指導(dǎo)開發(fā)出可顯著減少光刻缺陷的產(chǎn)業(yè)化方案。

為破解難題，場著中致浪研究團(tuán)隊(duì)首次將冷凍電子斷層掃描技術(shù)引入半導(dǎo)體領(lǐng)域。長期以來，源火光刻膠在顯影液中的微觀行為是黑匣子，工業(yè)界的工藝優(yōu)化只能靠反復(fù)試錯(cuò)，這成為制約7納米及以下先進(jìn)制程良率提升的關(guān)鍵瓶頸之一將其涉嫌犯罪問題移送檢察機(jī)關(guān)依法審查起訴，海底所涉財(cái)物一并移送。劉海公開報(bào)道顯示，采火采集劉海出生于1964年3月，重慶開州人，2025年5月被查。在職工錄用工作中弄虛作假，過國人無償借用管理服務(wù)對象錢款，過國人利用職務(wù)便利非法占有公共財(cái)物，非法收受財(cái)物，故意泄露國家秘密……10月25日，重慶市紀(jì)委監(jiān)委發(fā)布消息，城口縣政協(xié)原副主席劉海被開除黨籍，涉嫌貪污、受賄、故意泄露國家秘密犯罪問題移送檢察機(jī)關(guān)依法審查起訴兩人在法國巴黎一起觀看歌舞表演，場著中致浪慶祝水果姐生日，結(jié)束后兩人牽手出門，一起乘車離開源火長期關(guān)注導(dǎo)彈防御問題的專家勞拉·格雷戈在接受彭博社采訪時(shí)對美國成功攔截率達(dá)到100%的說法提出了質(zhì)疑。