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光刻膠如同刻畫電路的顏料，它在顯影液中的運動，直接決定電路畫得準不準、好不好，進而影響芯片良率。光刻技術是推動集成電路芯片制程工藝持續(xù)微縮的核心驅動力之一。

彭海琳表示，冷凍電子斷層掃描技術為在原子/分子尺度上解析各類液相界面反應提供了強大工具。深入掌握液體中聚合物的結構與微觀行為，可推動先進制程中光刻、蝕刻和濕法清洗等關鍵工藝的缺陷控制與良率提升。研究人員最終合成出一張分辨率優(yōu)于5納米的微觀三維全景照片，一舉克服了傳統(tǒng)技術無法原位、三維、高分辨率觀測的三大痛點。

顯影是光刻的核心步驟之一，通過顯影液溶解光刻膠的曝光區(qū)域，將電路圖案精確轉移到硅片上。近日，北京大學化學與分子工程學院彭海琳教授團隊及合作者通過冷凍電子斷層掃描技術，首次在原位狀態(tài)下解析了光刻膠分子在液相環(huán)境中的微觀三維結構、界面分布與纏結行為，指導開發(fā)出可顯著減少光刻缺陷的產業(yè)化方案。

為破解難題，研究團隊首次將冷凍電子斷層掃描技術引入半導體領域。長期以來，光刻膠在顯影液中的微觀行為是黑匣子，工業(yè)界的工藝優(yōu)化只能靠反復試錯，這成為制約7納米及以下先進制程良率提升的關鍵瓶頸之一受冷空氣影響，近期我國多地降溫，冷出常年11月的水平。根據定義，在全國范圍內，超過一半的氣象觀測臺站冬季平均氣溫滿足冷冬/暖冬標準，這一年冬季才會被判定為冷冬或是暖冬。如果連續(xù)5天的日平均氣溫低于5℃，可經由相關部門會商后提前供暖。新京報記者王景曦點擊進入專題：全國大部迎換季式降溫。另一方面，北極地區(qū)氣溫上升的幅度明顯高于熱帶和副熱帶地區(qū)，中緯度南北溫差減小，西風帶大氣環(huán)流減弱，受其影響，我國冬季冷暖波動更為劇烈，需要密切關注階段性強降溫和強升溫過程對生產生活造成的不利影響。