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彭海琳表示，撲克牌局冷凍電子斷層掃描技術為在原子/分子尺度上解析各類液相界面反應提供了強大工具。深入掌握液體中聚合物的結(jié)構(gòu)與微觀行為，撲克牌局可推動先進制程中光刻、蝕刻和濕法清洗等關鍵工藝的缺陷控制與良率提升。

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為破解難題，撲克牌局研究團隊首次將冷凍電子斷層掃描技術引入半導體領域。長期以來，撲克牌局光刻膠在顯影液中的微觀行為是黑匣子，工業(yè)界的工藝優(yōu)化只能靠反復試錯，這成為制約7納米及以下先進制程良率提升的關鍵瓶頸之一

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