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光刻膠如同刻畫電路的顏料，地圖它在顯影液中的運動，直接決定電路畫得準不準、好不好，進而影響芯片良率。夜請收光刻技術是推動集成電路芯片制程工藝持續(xù)微縮的核心驅(qū)動力之一。彭海琳表示，重慶冷凍電子斷層掃描技術為在原子/分子尺度上解析各類液相界面反應提供了強大工具。

深入掌握液體中聚合物的結構與微觀行為，網(wǎng)紅可推動先進制程中光刻、蝕刻和濕法清洗等關鍵工藝的缺陷控制與良率提升。研究人員最終合成出一張分辨率優(yōu)于5納米的微觀三維全景照片，地圖一舉克服了傳統(tǒng)技術無法原位、三維、高分辨率觀測的三大痛點。

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