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光刻膠如同刻畫電路的顏料，快速搶莊它在顯影液中的運動，直接決定電路畫得準不準、好不好，進而影響芯片良率。快速搶莊光刻技術是推動集成電路芯片制程工藝持續(xù)微縮的核心驅(qū)動力之一。

彭海琳表示，快速搶莊冷凍電子斷層掃描技術為在原子/分子尺度上解析各類液相界面反應提供了強大工具。深入掌握液體中聚合物的結構與微觀行為，快速搶莊可推動先進制程中光刻、蝕刻和濕法清洗等關鍵工藝的缺陷控制與良率提升。研究人員最終合成出一張分辨率優(yōu)于5納米的微觀三維全景照片，快速搶莊一舉克服了傳統(tǒng)技術無法原位、三維、高分辨率觀測的三大痛點。

顯影是光刻的核心步驟之一，快速搶莊通過顯影液溶解光刻膠的曝光區(qū)域，將電路圖案精確轉(zhuǎn)移到硅片上。近日，快速搶莊北京大學化學與分子工程學院彭海琳教授團隊及合作者通過冷凍電子斷層掃描技術，快速搶莊首次在原位狀態(tài)下解析了光刻膠分子在液相環(huán)境中的微觀三維結構、界面分布與纏結行為，指導開發(fā)出可顯著減少光刻缺陷的產(chǎn)業(yè)化方案。

為破解難題，快速搶莊研究團隊首次將冷凍電子斷層掃描技術引入半導體領域。長期以來，快速搶莊光刻膠在顯影液中的微觀行為是黑匣子，工業(yè)界的工藝優(yōu)化只能靠反復試錯，這成為制約7納米及以下先進制程良率提升的關鍵瓶頸之一尤其是四新（新課程標準、快速搶莊新課程方案、快速搶莊新高考方案、新教材）背景下，所有老師都需要在高中的不同階段進行教學實踐，于是，我們重新開始師資的輪轉(zhuǎn)與流動。特別是擔任北大附中這樣一所有獨特風格的中學的校長，快速搶莊責任重大，壓力也很大。導師扮演的角色不是單純的管理者，快速搶莊而是引導者與支持者。北大附中的體育課一直采用連堂的形式，快速搶莊這種設置讓學生們能對所選擇的體育運動產(chǎn)生黏性，有更多機會找到自己真正熱愛的運動。而九大學科外的藝體技課程以及選修課，快速搶莊則對全體學生開放自由選擇。